Trạm đo điện đa năng cho phép kết nối điện đến các chân linh kiện nhỏ nhằm đánh giá đặc trưng các đường IV, CV … của linh kiện.

Thiết bị phát hiện rò rỉ sử dụng khí Heli (Helium leak detector) của hãng Oelikon. Thiết bị chuyên dụng cho việc phát hiện rò rỉ sử dụng khí Helium cho các đường ống dẫn khí và các hệ chân không.

Phổ kế phân cực ellip model Smart SE của hãng Horiba Jobin Yvon. Phổ kế sử dụng cảm biến CCD, nguồn sáng LED cho dải phổ từ 400 đến 800nm. Với thuật toán fit phổ, các tính chất quang, bề dầy màng mỏng và thành phần hợp chất trong màng mỏng có thể thu được. Phổ kế phân cực ellip đặc biệt thích hợp cho nghiên cứu màng mỏng ứng dụng trong pin mặt trời, màn hình phẳng, màng chống...

Hệ thống phún xạ 4 súng, 2 DC, 2 RF của hãng Syskey. Hệ thống cho phép phún các loại vật liệu gốm, vật liệu kim loại với kích thước bia 2 inch, cho phép phủ trên đế kích thước lớn nhất 4 inch mà vẫn đảm bảo được độ đồng đều.

Trung tâm Nano và Năng lượng được trang bị cơ sở vật chất hơn 150 m2 phòng sạch, loại tương thích bán dẫn, với các cấp độ sạch 100.000, 10.000 và 1.000. Phòng sạch được trang bị các hệ thống phụ trợ trung tâm bao gồm: Hệ nước khử Ion tuần hoàn phục vụ cho các tủ hóa ướt, tủ hút và máy cắt phiến Hệ hút khí thông thường Hệ hút khí cho các tủ...