Tủ hút hóa học trong phòng vàng, tương thích toàn bộ quy trình chế tạo vật liệu bán dẫn. Tủ hút được sử dụng chính trong quy trình chế tạo vật liệu linh kiện bán dẫn sử dụng quang khắc.