Thiết bị làm sạch  bề mặt mẫu bằng plasma oxi, được sử dụng để loại bỏ hoàn toàn các hợp chất hữu cơ còn lại trên bề mặt mẫu sau các quy trình thí nghiệm. Thiết bị đặc biệt hữu ích trong việc loại bỏ các chất cảm quang còn dư lại sau quy trình quang khắc.

Thiết bị hỗ trợ kích thước mẫu tối đa 4 inch.