Trung tâm cung cấp dịch vụ đo đạc và đánh giá đặc trưng vật liệu dựa trên hệ thống máy móc có sẵn của Trung tâm như: Đo điện trở 4 điểm bằng thiết bị đo điện trở bốn điểm Đánh giá tính chất quang học của màng mỏng (bán truyền qua) và đánh giá bề dầy bằng thiết bị phổ kế phân cực ellip Đánh giá đặc...

Trung tâm cung cấp dịch vụ thiết kế linh kiện bán dẫn, linh kiện MEMS/NEMS phục vụ cho các nhu cầu tạo mẫu của các đơn vị nghiên cứu khoa học, các doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực công nghệ cao. Trong ảnh là một ví dụ về linh kiện transitor màng mỏng sử dụng trong các mạch tích hợp điều khiển các tế bào sáng của màn hình...

Hệ thống thiết bị bốc bay nhiệt 3 nguồn của hãng Syskey, cho phép bốc bay phần lớn các loại kim loại phục vụ quy trình chế tạo thiết bị linh kiện tại trung tâm.

Tủ hút hóa học trong phòng vàng, tương thích toàn bộ quy trình chế tạo vật liệu bán dẫn. Tủ hút được sử dụng chính trong quy trình chế tạo vật liệu linh kiện bán dẫn sử dụng quang khắc.

Thiết bị đầu dò 4 điểm dùng để đánh giá nhanh độ dẫn điện của màng mỏng trong quá trình chế tạo vật liệu trong phòng sạch. 

Thiết bị làm sạch  bề mặt mẫu bằng plasma oxi, được sử dụng để loại bỏ hoàn toàn các hợp chất hữu cơ còn lại trên bề mặt mẫu sau các quy trình thí nghiệm. Thiết bị đặc biệt hữu ích trong việc loại bỏ các chất cảm quang còn dư lại sau quy trình quang khắc. Thiết bị hỗ trợ kích thước mẫu tối đa 4 inch.

Trạm đo điện đa năng cho phép kết nối điện đến các chân linh kiện nhỏ nhằm đánh giá đặc trưng các đường IV, CV … của linh kiện.

Thiết bị phát hiện rò rỉ sử dụng khí Heli (Helium leak detector) của hãng Oelikon. Thiết bị chuyên dụng cho việc phát hiện rò rỉ sử dụng khí Helium cho các đường ống dẫn khí và các hệ chân không.

Phổ kế phân cực ellip model Smart SE của hãng Horiba Jobin Yvon. Phổ kế sử dụng cảm biến CCD, nguồn sáng LED cho dải phổ từ 400 đến 800nm. Với thuật toán fit phổ, các tính chất quang, bề dầy màng mỏng và thành phần hợp chất trong màng mỏng có thể thu được. Phổ kế phân cực ellip đặc biệt thích hợp cho nghiên cứu màng mỏng ứng dụng trong pin mặt trời,...

Hệ thống phún xạ 4 súng, 2 DC, 2 RF của hãng Syskey. Hệ thống cho phép phún các loại vật liệu gốm, vật liệu kim loại với kích thước bia 2 inch, cho phép phủ trên đế kích thước lớn nhất 4 inch mà vẫn đảm bảo được độ đồng đều.