Trung tâm có thể cung cấp dịch vụ chế tạo vật liệu màng mỏng sau: Oxide: - TiO2 - TiO2 pha tạp Nb - TiO2 pha tạp Ta - AZO - FTO - ITO - Al2O3 - Cu2O - Fe2O3 - Cu2O+Fe2O3 (50:50 w) - V2O5 - SiO2 Nitride - AlN - Si3N4 Floride - MgF2 Kim loại - Cu - Ta - Ti - Ag - Al - V - Zr - Te - Bi - Pb - Sb Trung tâm có khả năng cung cấp các dịch vụ xứ lý vật liệu và phiến silic...
Xem thêmTrung tâm cung cấp dịch vụ đo đạc và đánh giá đặc trưng vật liệu dựa trên hệ thống máy móc có sẵn của Trung tâm như: Đo điện trở 4 điểm bằng thiết bị đo điện trở bốn điểm Đánh giá tính chất quang học của màng mỏng (bán truyền qua) và đánh giá bề dầy bằng thiết bị phổ kế phân cực ellip Đánh giá đặc trưng IV trên probe station Chụp ảnh...
Xem thêmTrung tâm cung cấp dịch vụ thiết kế linh kiện bán dẫn, linh kiện MEMS/NEMS phục vụ cho các nhu cầu tạo mẫu của các đơn vị nghiên cứu khoa học, các doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực công nghệ cao. Trong ảnh là một ví dụ về linh kiện transitor màng mỏng sử dụng trong các mạch tích hợp điều khiển các tế bào sáng của màn hình...
Xem thêm