Thiết bị phủ quay (spin coater) trong phòng vàng, phục vụ cho quy trình công nghệ quang khắc

Lò ủ nhiệt mở (hot plate) dùng trong phòng vàng, chuyên sử dụng trong quy trình tạo hình quang khắc.

Tủ hóa ướt bên ngoài phòng vàng, cho phép làm thí nghiệm trên một số loại vật liệu không tương thích với bán dẫn như đồng sắt …

Trung tâm cung cấp dịch vụ đo đạc và đánh giá đặc trưng vật liệu dựa trên hệ thống máy móc có sẵn của Trung tâm như: Đo điện trở 4 điểm bằng thiết bị đo điện trở bốn điểm Đánh giá tính chất quang học của màng mỏng (bán truyền qua) và đánh giá bề dầy bằng thiết bị phổ kế phân cực ellip Đánh giá đặc trưng IV trên probe station Chụp ảnh...

Trung tâm cung cấp dịch vụ thiết kế linh kiện bán dẫn, linh kiện MEMS/NEMS phục vụ cho các nhu cầu tạo mẫu của các đơn vị nghiên cứu khoa học, các doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực công nghệ cao. Trong ảnh là một ví dụ về linh kiện transitor màng mỏng sử dụng trong các mạch tích hợp điều khiển các tế bào sáng của màn hình...