Trung tâm Nano và Năng lượng được trang bị cơ sở vật chất hơn 150 m2 phòng sạch, loại tương thích bán dẫn, với các cấp độ sạch 100.000, 10.000 và 1.000. Phòng sạch được trang bị các hệ thống phụ trợ trung tâm bao gồm: Hệ nước khử Ion tuần hoàn phục vụ cho các tủ hóa ướt, tủ hút và máy cắt phiến Hệ hút khí thông thường Hệ hút khí cho các tủ...