Trung tâm có thể cung cấp dịch vụ chế tạo vật liệu màng mỏng sau:

Oxide:

- TiO2

- TiO2 pha tạp Nb

- TiO2 pha tạp Ta

- AZO

- FTO

- ITO

- Al2O3

- Cu2O

- Fe2O3

- Cu2O+Fe2O3 (50:50 w)

- V2O5

- SiO2

 

Nitride

- AlN

- Si3N4

 

Floride

- MgF2

 

Kim loại

- Cu

- Ta

- Ti

- Ag

- Al

- V

- Zr

- Te

- Bi

- Pb

- Sb

 

Trung tâm có khả năng cung cấp các dịch vụ xứ lý vật liệu và phiến silic như sau:

- Plasma Oxi

- Oxi hoá khô và oxi hoá ướt phiến silic 4inch, 6inch

- Khuếch tán P trên phiến silic 4inch, 6inch

- Ủ nhiệt trong chân không, trong môi trường khí trơ, trong môi trường khử (H2)

- Ăn mòn hoá ướt

- Rửa phiến

- Cắt phiến

 

Trung tâm có khả năng cung cấp các dịch vụ chế tạo linh kiện (nếu được cung cấp mặt nạ quang khắc) cho phiến 4 inch sau:

- Linh kiện MOS

- Linh kiện màng mỏng

- Linh kiện vi lưu

- MEMS/NEMS (khắc hoá ướt)