Hệ thống thiết bị bốc bay nhiệt 3 nguồn của hãng Syskey, cho phép bốc bay phần lớn các loại kim loại phục vụ quy trình chế tạo thiết bị linh kiện tại trung tâm.

Tủ hút hóa học trong phòng vàng, tương thích toàn bộ quy trình chế tạo vật liệu bán dẫn. Tủ hút được sử dụng chính trong quy trình chế tạo vật liệu linh kiện bán dẫn sử dụng quang khắc.

Thiết bị đầu dò 4 điểm dùng để đánh giá nhanh độ dẫn điện của màng mỏng trong quá trình chế tạo vật liệu trong phòng sạch. 

Thiết bị làm sạch  bề mặt mẫu bằng plasma oxi, được sử dụng để loại bỏ hoàn toàn các hợp chất hữu cơ còn lại trên bề mặt mẫu sau các quy trình thí nghiệm. Thiết bị đặc biệt hữu ích trong việc loại bỏ các chất cảm quang còn dư lại sau quy trình quang khắc. Thiết bị hỗ trợ kích thước mẫu tối đa 4 inch.

Trạm đo điện đa năng cho phép kết nối điện đến các chân linh kiện nhỏ nhằm đánh giá đặc trưng các đường IV, CV … của linh kiện.