Trung tâm Nano và Năng lượng » Trang thiết bị

Hệ lò oxi hóa và khuếch tán

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:52:31 +0000

Hệ lò oxi hóa và khuyếch tán cho phép chế tạo các lớp SiO2 trên phiến silic hoặc pha tạp loại n trên phiến silic.

Thiết bị cắt phiến

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:50:46 +0000

Thiết bị cho phép cắt các phiến (silic, gốm, thủy tinh …) thành các mảnh nhỏ kích thước đều nhau.

Thiết bị quang khắc tích hợp in nano

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:49:24 +0000

Thiết bị quang khắc tích hợp in nano (mask aligner and nanoimprint) là thiết bị chính của quy trình công nghệ quang khắc. Thiết bị cho phép đạt kích thước nhỏ nhất 1.5um.

Thiết bị phủ quay

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:47:21 +0000

Thiết bị phủ quay (spin coater) trong phòng vàng, phục vụ cho quy trình công nghệ quang khắc

Lò ủ nhiệt mở

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:45:54 +0000

Lò ủ nhiệt mở (hot plate) dùng trong phòng vàng, chuyên sử dụng trong quy trình tạo hình quang khắc.

Tủ hóa ướt

Quản trị — Tue, 07 Apr 2015 04:44:25 +0000

Tủ hóa ướt bên ngoài phòng vàng, cho phép làm thí nghiệm trên một số loại vật liệu không tương thích với bán dẫn như đồng sắt …

Bốc bay nhiệt 3 nguồn

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:30:14 +0000

Hệ thống thiết bị bốc bay nhiệt 3 nguồn của hãng Syskey, cho phép bốc bay phần lớn các loại kim loại phục vụ quy trình chế tạo thiết bị linh kiện tại trung tâm.

Tủ hút hóa học trong phòng vàng

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:27:17 +0000

Tủ hút hóa học trong phòng vàng, tương thích toàn bộ quy trình chế tạo vật liệu bán dẫn. Tủ hút được sử dụng chính trong quy trình chế tạo vật liệu linh kiện bán dẫn sử dụng quang khắc.

Thiết bị đầu dò 4 điểm

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:26:01 +0000

Thiết bị đầu dò 4 điểm dùng để đánh giá nhanh độ dẫn điện của màng mỏng trong quá trình chế tạo vật liệu trong phòng sạch.

Thiết bị làm sạch bằng plasma oxi

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:24:16 +0000

Thiết bị làm sạch bề mặt mẫu bằng plasma oxi, được sử dụng để loại bỏ hoàn toàn các hợp chất hữu cơ còn lại trên bề mặt mẫu sau các quy trình thí nghiệm. Thiết bị đặc biệt hữu ích trong việc loại bỏ các chất cảm quang còn dư lại sau quy trình quang khắc.

Thiết bị hỗ trợ kích thước mẫu tối đa 4 inch.

Trạm đo điện đa năng

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:22:11 +0000

Trạm đo điện đa năng cho phép kết nối điện đến các chân linh kiện nhỏ nhằm đánh giá đặc trưng các đường IV, CV … của linh kiện.

Thiết bị phát hiện rò rỉ sử dụng khí Heli

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:20:37 +0000

Thiết bị phát hiện rò rỉ sử dụng khí Heli (Helium leak detector) của hãng Oelikon.

Thiết bị chuyên dụng cho việc phát hiện rò rỉ sử dụng khí Helium cho các đường ống dẫn khí và các hệ chân không.

Phổ kế phân cực ellip (Spectroscopic Ellipsometer)

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:18:19 +0000

Phổ kế phân cực ellip model Smart SE của hãng Horiba Jobin Yvon.

Phổ kế sử dụng cảm biến CCD, nguồn sáng LED cho dải phổ từ 400 đến 800nm.

Với thuật toán fit phổ, các tính chất quang, bề dầy màng mỏng và thành phần hợp chất trong màng mỏng có thể thu được. Phổ kế phân cực ellip đặc biệt thích hợp cho nghiên cứu màng mỏng ứng dụng trong pin mặt trời, màn hình phẳng, màng chống phản xạ …

Hệ thống phún xạ 4 súng

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:14:39 +0000

Hệ thống phún xạ 4 súng, 2 DC, 2 RF của hãng Syskey.

Hệ thống cho phép phún các loại vật liệu gốm, vật liệu kim loại với kích thước bia 2 inch, cho phép phủ trên đế kích thước lớn nhất 4 inch mà vẫn đảm bảo được độ đồng đều.

Phòng sạch

Quản trị — Sun, 22 Sep 2013 18:05:32 +0000

Trung tâm Nano và Năng lượng được trang bị cơ sở vật chất hơn 150 m2 phòng sạch, loại tương thích bán dẫn, với các cấp độ sạch 100.000, 10.000 và 1.000. Phòng sạch được trang bị các hệ thống phụ trợ trung tâm bao gồm:

Hệ nước khử Ion tuần hoàn phục vụ cho các tủ hóa ướt, tủ hút và máy cắt phiến
Hệ hút khí thông thường
Hệ hút khí cho các tủ hóa ướt
Hệ chân không
Hệ khí nén
Hệ nước làm mát máy tuần hoàn
Hệ N2

Phòng sạch được chia làm 3 module chính: (i) module chế tạo linh kiện, (ii) module đánh giá đặc trưng linh kiện và (iii) phòng vàng.

Với module chế tạo linh kiện, Trung tâm trang bị các hệ thống thiết bị sau:

Hệ phún xạ cathode 4 súng (2RF, 2DC)
Hệ bốc bay 3 nguồn
Hệ làm sạch bằng plasma oxi và argon

Với module đánh giá đặc trưng linh kiện, Trung tâm trang bị các hệ thống đo đạc và thiết bị sau:

Hệ phổ phân cực elip, cho phép phân tích đánh giá đặc trưng màng mỏng đa năng
Hệ đo điện trở 4 điểm
Hệ đầu do đo thông số điện đa năng

Ngoài ra Trung tâm còn trang bị các máy móc cho phép triển khai các công tác bảo trì bảo dưỡng đường ống và phòng sạch như:

Hệ phát hiện dò đường ống khí bằng khí He
Máy đo đa năng cầm tay cho phép đo nhiệt độ, độ ẩm, tốc độ gió, lưu lượng gió
May đếm hạt bụi cầm tay