Trung tâm Nano và Năng lượng » Dịch vụ khoa học

Chế tạo vật liệu và linh kiện

Quản trị — Sun, 23 Aug 2015 15:09:28 +0000

Trung tâm có thể cung cấp dịch vụ chế tạo vật liệu màng mỏng sau:

Oxide:

- TiO2

- TiO2 pha tạp Nb

- TiO2 pha tạp Ta

- AZO

- FTO

- ITO

- Al2O3

- Cu2O

- Fe2O3

- Cu2O+Fe2O3 (50:50 w)

- V2O5

- SiO2

Nitride

- AlN

- Si3N4

Floride

- MgF2

Kim loại

- Cu

- Ta

- Ti

- Ag

- Al

- V

- Zr

- Te

- Bi

- Pb

- Sb

Trung tâm có khả năng cung cấp các dịch vụ xứ lý vật liệu và phiến silic như sau:

- Plasma Oxi

- Oxi hoá khô và oxi hoá ướt phiến silic 4inch, 6inch

- Khuếch tán P trên phiến silic 4inch, 6inch

- Ủ nhiệt trong chân không, trong môi trường khí trơ, trong môi trường khử (H2)

- Ăn mòn hoá ướt

- Rửa phiến

- Cắt phiến

Trung tâm có khả năng cung cấp các dịch vụ chế tạo linh kiện (nếu được cung cấp mặt nạ quang khắc) cho phiến 4 inch sau:

- Linh kiện MOS

- Linh kiện màng mỏng

- Linh kiện vi lưu

- MEMS/NEMS (khắc hoá ướt)

Đo đạc và đánh giá đặc trưng vật liệu

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:44:24 +0000

Trung tâm cung cấp dịch vụ đo đạc và đánh giá đặc trưng vật liệu dựa trên hệ thống máy móc có sẵn của Trung tâm như:

Đo điện trở 4 điểm bằng thiết bị đo điện trở bốn điểm
Đánh giá tính chất quang học của màng mỏng (bán truyền qua) và đánh giá bề dầy bằng thiết bị phổ kế phân cực ellip
Đánh giá đặc trưng IV trên probe station
Chụp ảnh bằng kính hiển vi quang học

Thiết kế linh kiện

Quản trị — Thu, 02 Oct 2014 04:37:47 +0000

Trung tâm cung cấp dịch vụ thiết kế linh kiện bán dẫn, linh kiện MEMS/NEMS phục vụ cho các nhu cầu tạo mẫu của các đơn vị nghiên cứu khoa học, các doanh nghiệp hoạt động trong lĩnh vực công nghệ cao.

Trong ảnh là một ví dụ về linh kiện transitor màng mỏng sử dụng trong các mạch tích hợp điều khiển các tế bào sáng của màn hình phẳng